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高精度:多重軟件分析法，多種應(yīng)用模式，高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng); 高效率:一臺(tái)維修工作站確認(rèn)多臺(tái)在線機(jī)的檢測(cè)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化制程管控;
高精度：多重軟件分析法，多種應(yīng)用模式，高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)； 高效率：一臺(tái)維修工作站確認(rèn)多臺(tái)在線機(jī)的檢測(cè)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化制程管控；
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